潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制

F．1  設計

F．1．1  對環(huán)境控制的要求隨著(zhù)應用的不同而異。因此買(mǎi)方在制定潔凈室的技術(shù)要求時(shí)應說(shuō)明哪些標準是重要的。本附錄中給出的清單并不詳盡，應按要求加以補充。

F．1．2  環(huán)境系統的設計應考慮下述問(wèn)題：

a)  選用的污染控制概念；

b)  產(chǎn)品質(zhì)量要求；

c)  建造和運作成本（使用壽命成本）；

d)  節能；

e)  安全性；

f)  人員健康和舒適；

g)  設備和工藝的需求和限制；

h)  可靠性、易于使用和維護；

i)  環(huán)境問(wèn)題（如廢物處理和包裝）；

j)  規章要求。

F．2  溫度和濕度

F．2．1  潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制ISO 14644應按照潔凈室的性能要求規定溫度（℃）和相對濕度（%飽和）的廟宇值和變化限值。這類(lèi)值隨特殊工藝要求而異。

F．2．2  應為下述各項提供溫度控制：

a)  一些制造工藝；

b)  設備和材料；

c)  適合于按規定的潔凈等級穿戴潔凈服的人員的穩定條件。

    一般情況下，照明的熱負荷是高而穩定的；人的負荷有變化；工藝操作產(chǎn)生的負荷（如，熱密封、波峰焊、焊接、熱處理和加熱壓力容器）通常是高而且有變化。

F．2．3  污染控制要求的空氣量很大，這有利于以適宜的速度對溫控系統作出反應，對內部的熱增益進(jìn)行修正。不過(guò)，應對散熱設備集中的區域和送風(fēng)方式進(jìn)行分析，確定最后的溫度變化和污染控制的合格界限。

F．2．4  應為下述各項提供濕度控制：

a)  制造工藝；

b)  設備和材料；

c)  減少靜電荷；

與上述溫度控制有關(guān)的人的舒適。

F．2．5  在受控環(huán)境中，外部情況（如天氣變化）對濕度控制的影響大于空間內生成的水分的影響。若在受控環(huán)境中有汽化過(guò)程，應把其限制在有通風(fēng)的圍護之內。應采取措施控制靜電效應。有些制造工藝（如真空管制造和制片）要求低于35%的相對濕度。如附錄E中所示，選材時(shí)應注意盡可能降低靜電的問(wèn)題。如果受限空間內的濕度較低，靜電荷應付高于濕度較高的區。

F．2．6  上述特定設施內應詳細說(shuō)明人員感到舒適的溫度和濕度。潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制ISO 14644標準的相對濕度范圍為<65%—>30%。如在此范圍之外，就應考慮適當措施來(lái)滿(mǎn)足工藝和人員的要求。如何按潔凈工作服的情況調整溫度要求可見(jiàn)ISO7730的指導說(shuō)明。

F．2．7  應規定出要求測量溫度和濕度的具體地點(diǎn)。

F．2．8  應對系統使用的外部條件加以規定，把可能的工作方式考慮在內。

F．2．9  對潔凈室內產(chǎn)生的熱量、水分、來(lái)源及動(dòng)態(tài)變化性質(zhì)都應加以規定。

F．3  照明

F．3．1  應規定出設施內各部分的照明度和均勻性，還應規定檢修方法。

F．3．2  照明的色彩應由買(mǎi)方規定，因為其對人的舒適和很多情況下對工序，特別是對光敏感的工序都有很大影響。

F．3．3  照明系統應符合潔凈室工作效率的要求。潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制ISO 14644照明的裝配件應該沒(méi)有產(chǎn)生污染的區域。應考慮采用密封的或齊平的裝配件。裝配件應易于維修，不會(huì )在維修時(shí)破壞潔凈室的整體性或產(chǎn)生污染。應該從工作的角度考慮眩光的效應。

F．4  噪聲和振動(dòng)

F．4．1  概述

    應按照特定的工藝或其它要求規定噪聲和振動(dòng)的限值。應考慮的情況如下：

a)  場(chǎng)地的選擇——振動(dòng)、土質(zhì)和未來(lái)的發(fā)展；

b)  結構設計——潔凈室樓面支撐、剛性和隔離縫；

c)  機械設計——設備的選擇、系統的設計、性能要求、隔振系統、噪聲控制系統（內部和外部）；

d)  建筑布置——裝備和設施布置圖、綠化區、服務(wù)區。

F．4．2  聲壓級

    應該依照人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其它設備）潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制ISO 14644的背景聲壓來(lái)選擇適宜的聲壓級。潔凈室標準的聲壓級范圍在40dB（A）——65dB（A）之間。有的應用可能要求的級別較低，或者可以容忍較高的級別。噪聲控制措施應按照ISO3746：1995實(shí)施。

F．4．3  機械振動(dòng)

F．4．3．1  振動(dòng)對潔凈室是個(gè)應該考慮的重要問(wèn)題。振動(dòng)對工藝、人的舒適、設備和系統的使用壽命都會(huì )產(chǎn)生有害的影響。

F．4．3．2  潔凈室內應盡力減少振動(dòng)，或利用高質(zhì)量的風(fēng)機或抗振擋板把振動(dòng)源隔離開(kāi)。

F．4．3．3  如果要求振動(dòng)控制，應按相應的國際標準ISO1940-1：1986和ISO10816-1：1995規定允許的級別。

F．5  節能

    進(jìn)行節能設計時(shí)，潔凈室凈化車(chē)間環(huán)境控制ISO 14644可以考慮在無(wú)活動(dòng)進(jìn)行時(shí)減少或關(guān)閉溫、濕度控制、降低氣流。但應能夠在規定的恢復期內恢復到工作狀態(tài)。