氣流組織形式靈活，合理，可滿(mǎn)足各種工作環(huán)境，不同潔凈等級的需要,無(wú)塵室建筑方式可分為土建結構和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。 潔凈室分類(lèi)你需了解,裝配式潔凈廠(chǎng)房系統主要由初，中，高三級空氣過(guò)濾的空調送風(fēng)回風(fēng)和排風(fēng)系統；動(dòng)力及照明系統；工作環(huán)境參數的監測報警消防和通訊系統；人流和物流系統；工藝管路系統；維護結構及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內容組成，形成空調凈化系統工程所包含的整個(gè)設備和器材的配套和建筑安裝內容。

無(wú)塵室的安裝與使用方面有以下特點(diǎn):

   裝配式潔凈廠(chǎng)房的全部維修構件在工廠(chǎng)內按統一模數及系列加工完成，適于批量生產(chǎn)，質(zhì)量穩定，供貨迅速。

  機動(dòng)靈活，即適合在新建廠(chǎng)房配套安裝，也適宜老廠(chǎng)房的凈化技術(shù)改造。維修結構也可隨工藝要求任意組合，拆卸方便。

1. 亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調機箱經(jīng)風(fēng)管和潔凈室內的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室內的回風(fēng)柱或高架地板回風(fēng)。氣流是呈不規則的亂流或渦流狀態(tài)。此型式適合于潔凈室等級為：1,000-100,000級。

優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本比較低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所需提高潔凈等級，可結合潔凈工作臺來(lái)提高潔凈室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須相當長(cháng)一段時(shí)間。

2.層流式(Laminar)：　空氣氣流運動(dòng)成一均勻的直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%的高效過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側回風(fēng)柱回風(fēng)，此型式適合于級別比較高的潔凈室，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

（2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

3.復合式(Mixed Type)：　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式

　　下限風(fēng)速建議值

潔凈室 下限風(fēng)速(m/s) 條 件

垂直單向流 0.12

0.3

≯0.5 

平時(shí)無(wú)人或很少有人進(jìn)出，無(wú)明顯熱源（只有一般儀器）

無(wú)明顯熱源的一般情況

有人，有明顯熱源，如0.5仍不夠，則有宜控制熱源尺寸和加以隔熱。

水平單向流 0.3

0.35

≯0.5 

平時(shí)無(wú)人或很少有人進(jìn)出

一般情況

要求更高或人員進(jìn)出頻繁