潔凈室或潔凈區性能測試和認證－《潔凈廠(chǎng)房設計規范》GB 50073-2013


A．1 通則

A．1．1 潔凈室或潔凈區應監測或定期進(jìn)行性能測試，以認證該潔凈室或潔凈區始終符合本規范的要求。

A．1．2 潔凈室或潔凈區性能測試認證工作應由專(zhuān)門(mén)檢測認證單位承擔，并提交檢測報告。

A．1．3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試和監測儀表應在標定證書(shū)有效使用期內。

A．2 潔凈室或潔凈區性能測試要求

A．2．1 潔凈室或潔凈區應進(jìn)行下列三項測試：
    1 空氣潔凈度測試。生物潔凈室應進(jìn)行浮游菌、沉降菌測試。
    2 靜壓差測試。
    3 風(fēng)速或風(fēng)量測試。

A．2．2 潔凈室或潔凈區的三項測試應符合下列規定：
    1 空氣潔凈度測試應符合表A．2．2-1的規定。

表A．2．2-1 空氣潔凈度測試

    2 靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試應符合表A．2．2-2的規定。

表A．2．2-2 靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試

A．2．3 當潔凈室或潔凈區已對粒子濃度、風(fēng)速或風(fēng)量、靜壓差執行連續監測，并且其測試值均符合本規范要求，則認證的測試時(shí)間間隔可延長(cháng)。具體間隔時(shí)間可與認證單位洽商，并應符合下列規定：
    1 空氣潔凈度等級認證可進(jìn)行靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測，應洽商確定。
    2 風(fēng)量測定采用風(fēng)速計在風(fēng)口或風(fēng)管測定。

A．2．4 潔凈室或潔凈區洽商選擇的測試要求應符合表A．2．4的規定。

表A．2．4 潔凈室或潔凈區洽商選擇的測試

A．3 潔凈室主要測試方法

A．3．1 風(fēng)量或風(fēng)速測試應符合下列規定：
    1 對于單向流潔凈室，采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，測點(diǎn)位于高效過(guò)濾器出風(fēng)面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測點(diǎn)數不應少于4點(diǎn)，所有讀數的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
    2 對于非單向流潔凈室，采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量，可按現行國家標準《通風(fēng)與空調工程施工質(zhì)量驗收規范》GB 50243規定的方法執行。

A．3．2 靜壓差測試應符合下列規定：
    1 靜壓差的測定應在潔凈室（區）的風(fēng)速、風(fēng)量和送風(fēng)均勻性檢測合格后進(jìn)行，并應在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)檢測。
    2 儀器宜采用各種微差壓力計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。

A．3．3 已安裝過(guò)濾器檢漏測試應符合下列規定：
    1 檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。
    2 在過(guò)濾器上風(fēng)側應引入測試用氣溶膠，在過(guò)濾器下風(fēng)側用光度計或粒子計數器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動(dòng)，并應注意安裝交接處的掃描。

A．3．4 密閉性測試應用于確認有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室（區）或非潔凈室（區）通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室（區）。一般適用于1級至5級的潔凈室（區）進(jìn)行測試。采用光度計法和粒子計數器法進(jìn)行測試。

A．3．5 潔凈度的檢測應符合下列規定：
    1 使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計數器，在儀器選用時(shí)應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書(shū)。
    2 最少采樣點(diǎn)數應按下式計算：

N_L＝A^0.5            (A．3．5-1)

式中：N_L——最少采樣點(diǎn)；
      A——潔凈室或被控潔凈區的面積(m²)。
    3 采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個(gè)面積內，并位于工作活動(dòng)的高度，活動(dòng)高度宜距地面0.8m；每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為1min。
    4 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：

式中：V_S——每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量，以L(fǎng)表示；當V_S很大時(shí)，可使用順序采樣法；
      C_n·m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m³)；
      20——在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時(shí)，可測到的粒子顆數(pc)。
    5 當潔凈室或潔凈區僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應至少采樣3次。

A．3．6 對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規定：
    1 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時(shí)，可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規定空氣潔凈度的水平。此類(lèi)粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶(hù)與建造商協(xié)商確定。
    2 當需評價(jià)小于0.1μm的粒子造成的污染危險時(shí)，應采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣方法和裝置；可獨立應用U描述符說(shuō)明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明。
    U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m³)，y為以微米計的粒徑。
    例如：粒徑范圍等于或大于0.O1μm的最大允許超微粒子的濃度為140 000個(gè)/m³，應表示為“U(140 000，0.O1μm)”。
    3 當需評價(jià)大于5μm的粒子造成的污染危險時(shí)，應采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和方法?？瑟毩肕描述符說(shuō)明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明。
    M描述符用“M（a，b）；c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m³)，b為與規定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm)，c為規定的測量方法。
    例如：采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進(jìn)行檢測，測量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個(gè)/m³，則用M描述符表示為“M(1OOO；1Oμm～20μm)；多級撞擊采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數”。

A．4 監測

A．4．1 按照雙方協(xié)議書(shū)的規定進(jìn)行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監測。

A．4．2 雙方協(xié)議書(shū)中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點(diǎn)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測量次數、測量時(shí)間間隔、被計數粒子的粒徑，以及粒子數的限值。

A．4．3 當監測結果超過(guò)規定的限值時(shí)，則應認定設施不符合要求，應進(jìn)行修正；修正后應再進(jìn)行認證檢測。當監測結果在規定限值內，可繼續監測。

A．5 認證

A．5．1 按雙方協(xié)議書(shū)的規定及第A(yíng)．2節的要求，按第A(yíng)．3節的方法進(jìn)行測試，當測試結果在規定的限值之內時(shí)，可認定該潔凈室符合規定要求。當測試結果超過(guò)規定的限值，可認定該潔凈室不符合要求，應進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應進(jìn)行再認證。

A．5．2 記錄數據評價(jià)應符合下列規定：
    1 在空氣潔凈度測試中，當測點(diǎn)在1點(diǎn)～10點(diǎn)時(shí)，應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度導出95％置信上限值。
    2 當采樣點(diǎn)超過(guò)10點(diǎn)時(shí)，應計算算術(shù)平均值，并按算術(shù)平均值進(jìn)行空氣潔凈度等級的評價(jià)。

A．5．3 每次性能測試或再認證測試應做記錄，并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容：
    1 測試機構的名稱(chēng)、地址。
    2 測試日期和測試者簽名。
    3 執行標準的編號及標準出版日期。
    4 被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點(diǎn)的特定編號及坐標圖。
    5 被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。
    6 測量用的儀器編號和標定證書(shū)，測試方法細則及測試中的特殊情況。
    7 測試結果包括在全部采樣點(diǎn)坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數。
    8 對異常測試值進(jìn)行說(shuō)明及數據處理。
    9 注明上次的測試日期。
    10 設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。

A．5．4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書(shū)、再檢驗證書(shū)。

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