無(wú)塵車(chē)間密閉性測試標準

C．8．1 本節適用于確認有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室(區)或非潔凈室(區)通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室(區)。適用于1級至5級的潔凈室(區)進(jìn)行測試?？刹捎霉舛扔嫹ê土Ｗ佑嫈灯鞣ㄟM(jìn)行測試。

C．8．2 采用粒子計數器法時(shí)，測量被評價(jià)表面的潔凈室(區)外部的空氣中懸浮粒子濃度，應大于潔凈室(區)內的濃度10⁴的倍數，并應至少大于或等于3．5×10⁶／m³；其空氣中懸浮粒子濃度不符合要求時(shí)，應添加氣溶膠提高濃度。
    粒子計數器掃描時(shí)，儀器應距離潔凈室(區)內待測試的接縫密封處或嚙合面5cm～10cm；掃描速度應為5cm／s。對敞開(kāi)的門(mén)廊處的測試，應在距離潔凈室(區)內敞開(kāi)的門(mén)0．3m～3．0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。

C．8．3 采用光度計法，測量潔凈室(區)內側被評價(jià)表面的空氣中懸浮粒子濃度，在光度計0．1％檔的設定值時(shí)，光度計的讀數超過(guò)0．01％即確認存在滲漏，并應做記錄。