一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展，都是出于生產(chǎn)的需要，潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰期間，美國生產(chǎn)的飛機導航用氣浮陀羅儀，由于質(zhì)量不穩定，每10個(gè)陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰爭期間，美國的16萬(wàn)臺電子通訊設備，更換了百萬(wàn)個(gè)以上的電子部件，雷達出故障的時(shí)間占84%，潛水艇聲納出故障的時(shí)間占48%。原因都是電子器件、零部件的可靠性差，質(zhì)量不穩定。軍方與廠(chǎng)商究其原因，最終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不清潔有關(guān)。盡管當時(shí)曾不惜工本，采取了種種嚴密措施來(lái)封閉生產(chǎn)車(chē)間，但收效甚微。直到50年代初，將美國原子能委員會(huì )為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問(wèn)題，于1951年研制成功的高效空氣過(guò)濾器（HEPA—High Efficiency Particulate AirFilter）應用于生產(chǎn)車(chē)間的送風(fēng)過(guò)濾，才真正誕生了具有現代意義的潔凈室。

1961年美國桑第阿國家實(shí)驗室（Sandia National Laboratories）的高級研究人員懷特菲爾特（Willis Whitfield）提出了當時(shí)稱(chēng)之為層流（laminar flow），現正名為單向流（unidirectional flow）的潔凈空氣流組織方案，并應用于實(shí)際工程。從此潔凈室達到了前所未有的更高潔凈級別。

同年美國空軍制定頒發(fā)了世界上第一個(gè)潔凈室標準TO—00—25——203空軍指令“潔凈室與潔凈工作臺的設計與運轉特性標準”。在此基礎上，1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個(gè)級別

的美國聯(lián)邦標準FED—STD—209。至此形成了完善的潔凈室技術(shù)的雛形。以上的這三個(gè)關(guān)鍵的進(jìn)步，常被譽(yù)為現代潔凈室發(fā)展歷史上的三個(gè)里程碑。

上世紀六二年代中期，潔凈室在美國如雨后春筍涌現在各種工業(yè)部門(mén)。它不僅用于軍事工業(yè)，也在電子、光學(xué)、微型軸承、微型電機、感光膠片、超純化學(xué)試劑等工業(yè)部門(mén)得到推廣，對當時(shí)科學(xué)

技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用。

七十年代初潔凈室的建設重點(diǎn)開(kāi)始轉向醫療、制藥、食品及生化等行業(yè)。除美國而外，其它工業(yè)先進(jìn)國家，日本、德國、英國、法國、瑞士、前蘇聯(lián)、荷蘭等也都十分重視并先后大力發(fā)展了潔凈技術(shù)。

六十年代初是中國潔凈技術(shù)發(fā)展的起步階段，大致比國外晚了十年。在中國，那是一個(gè)非常特殊的困難年代，一方面剛度過(guò)三年自然災害，經(jīng)濟基礎薄弱，另一方面與世界科技先進(jìn)國家沒(méi)有直接交往，得不到必要的科技數據、信息和樣品。在這種艱難條件下，圍繞精密機械、航空儀表和電子工業(yè)的需要，中國的潔凈技術(shù)工作者開(kāi)始了自己的創(chuàng )業(yè)歷程。

潔凈技術(shù)在中國發(fā)展的歷程劃分為如下幾個(gè)階段：

起步和奠基階段

六十年代初至七十年代末，這十多年是中國潔凈技術(shù)的起步和奠基階段。

1965年，由中國建筑科學(xué)研究院空氣調節研究所和蚌埠絕緣材料廠(chǎng)等單位研制完成帶波紋隔板的高效空氣過(guò)濾器通過(guò)鑒定，標志了我國潔凈技術(shù)開(kāi)始正式起步。當時(shí)所用濾紙有兩種材質(zhì)，一種是藍石

棉纖維濾紙的GS系列高效空氣過(guò)濾器，但因生產(chǎn)過(guò)程對人體健康不利很快被淘汰；另一種是超細玻璃纖維濾紙的GB系列高效空氣過(guò)濾器，一直沿用至今。經(jīng)國內多次與國外同類(lèi)產(chǎn)品對比測試，以及美國明尼

蘇達大學(xué)氣溶膠研究所對中國高效過(guò)濾器濾紙所作測試的結果，都證明國產(chǎn)高效空氣過(guò)濾器的主要技術(shù)指標，達到同期國際標準。

值得提及的是，盡管日本自50年代末已著(zhù)手與美國合作在日本制造高效空氣過(guò)濾器，潔凈技術(shù)起步較早，但技術(shù)與濾紙來(lái)自美國，直到1969年日本的HEPA過(guò)濾器才完全國化。

與此同時(shí)，先后于1963年研制成功濾料鈉焰試驗臺，1964年建成了高效過(guò)濾器的鈉焰試驗臺，這時(shí)高效空氣過(guò)濾器的正常生產(chǎn)和質(zhì)量提高了保證作用。中國醫學(xué)科學(xué)院衛生研究所、清華大學(xué)核能所等單位，為此付出了艱辛的工作。

如果把高效空氣過(guò)濾器比喻為潔凈技術(shù)的“心臟”，那么檢測技術(shù)及儀器則是潔凈技術(shù)的眼睛，靠它來(lái)鑒別與把關(guān)。六十年代中期，中國醫學(xué)科學(xué)院衛生研究所、哈爾濱建工學(xué)院、

丹東儀表研究所、中科院安徽光機所、建研院空調所等單位先后投入力量研制光散射粒子計數器。1973年，建研院歷時(shí)三年研制成功了中國第一臺型號為J—73型的塵埃粒子計數器，以及標定粒子計數器用的標準粒子——單分散聚苯乙烯膠乳標準粒子（PSL），其平均粒徑從0.177~1.460μm，共九種，標準差很小，均方根差變系數σ/χ<5%。J—73型共設有15個(gè)粒徑檔，測量范圍是0.3~10μm，采樣流量為300ml/min。這兩項成果于1974年通過(guò)國家鑒定并認為已達到或接近當時(shí)的世界水平。塵埃粒子計數器的推廣應用，推動(dòng)了中國潔凈技術(shù)的科研、設計和凈化設備生產(chǎn)，沿著(zhù)自立、自強的道路向前進(jìn)步。

同時(shí)，一些電子技術(shù)、精密機械和國防工業(yè)相關(guān)的設計院，也在探索、研究潔凈室的工程設計。1965年建成的沈陽(yáng)119廠(chǎng)和石家莊13所就是由三機部四院（現航空工業(yè)部第四設計院）和四機部第二設計院（現中國電子工程設計院）分別參照原蘇聯(lián)的妝化等級設計建設的。

中國科學(xué)院設計院1966年選用國產(chǎn)GB系列高效空氣過(guò)濾器設計了中國科學(xué)院面積為760平方米的精密機械裝配車(chē)間，1970年投入生產(chǎn)。后經(jīng)測定，在靜態(tài)條件下，室內換氣次數為20AC/h時(shí)，室內潔凈度達到當時(shí)美國聯(lián)邦標準209A的10000級。

1973年初，四機部第十設計院和第十一設計院，分別著(zhù)手進(jìn)行了878廠(chǎng)和4433廠(chǎng)的潔凈車(chē)間設計，兩個(gè)工廠(chǎng)的潔凈室級別包括從FED—STD—209A的100,000級至100級，采用的氣流流

型有垂直單向流、水平單向流和亂流等。

在這個(gè)階段內，與潔凈室配套的凈化設備陸續試制成功，一些原來(lái)生產(chǎn)無(wú)線(xiàn)電、半導體專(zhuān)用設備的、生產(chǎn)醫療器械的工廠(chǎng)轉向凈化設備的生產(chǎn)，在國內形成了初步的潔凈室設備生產(chǎn)規模與布局。這些工廠(chǎng)當時(shí)主要分布在北京、天津、蘇州、上海和重慶。從設計制造多種型式的潔凈工作臺（clean bench）開(kāi)始，隨后陸續設計制造了吹淋室、氣閘室、物料傳遞窗、余壓閥等相關(guān)設備。

為了適應六十年代末、七十年代初，一些研究機構對小型潔凈工作環(huán)境的需求，以及一些舊廠(chǎng)房進(jìn)行小規模潔凈室改造的需要，建研院空調所、六機部九院（現船舶工業(yè)總公司第九設計院）、

三機部四院、天津醫療器械廠(chǎng)天津醫藥凈化設備廠(chǎng)前身）等單位，研制成功了裝配式垂直單向流、水平單向流潔凈室。這種由凈化設備廠(chǎng)生產(chǎn)的裝配式潔凈室，特別在利用原有建筑物進(jìn)行技術(shù)改造，

所需凈化面積又比較小的場(chǎng)合，發(fā)揮了設計、施工快捷，技術(shù)性能穩定的特點(diǎn)，1974年在天津通過(guò)了國家鑒定。

1974年以來(lái)，建研院空調所、四機部十院等單位分別建立了潔凈技術(shù)試驗室，開(kāi)展了一些基礎研究。如建研院空調所在該所試驗室中進(jìn)行了亂流潔凈室均勻分布與不均勻分布計算

的研究，全頂棚送風(fēng)兩側下回風(fēng)潔凈室氣流特性的研究等；四機部第十設計研究院在該院的潔凈試驗室中進(jìn)行了亂流潔凈室的試驗研究，高效過(guò)濾器送風(fēng)口的氣流分布研究，人體發(fā)塵

量研究等多項課題。

與此同時(shí)，一些研究單位及設計院，如七機部七院（航天工業(yè)部七院）、建研院空調所、四機部十院、十一院、二機部二院（核工業(yè)部二院）、六機部九院等，和一些大專(zhuān)院校如天津大學(xué)、同濟大學(xué)、河北工學(xué)院組成了配合國家大規模集成電路攻關(guān)的潔凈室技術(shù)研究協(xié)作組，為規范與提高中國的潔凈技術(shù)水平，進(jìn)行了一系列的測試與調研工作。如在北京、西安、上海等地進(jìn)行了不同環(huán)境室外大氣含塵濃度的長(cháng)期臨測與統計分析，在全國各地對已建潔凈室進(jìn)行了測試，并著(zhù)手對潔凈室設計、施工、運行及設備生產(chǎn)方面的經(jīng)驗進(jìn)行總結。

國外同期潔凈技術(shù)發(fā)展概況大致如下：

六十年代中，美國的電子、精密機械等工廠(chǎng)的潔凈室如雨后春筍，對當時(shí)科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用，同時(shí)開(kāi)始了將工業(yè)潔凈室技術(shù)（ICR—Industrial Cleanroom）移植

到生物潔凈室（BCR—Biological Cleanroom）的歷程。七十年代初潔凈室的建設熱潮轉向醫療、制藥、食品及生化等行業(yè)。

1966年在美國新墨西哥州建成了世界上第一個(gè)垂直單向流的生物潔凈技術(shù)室（BCOR—Biological Clean Operating Room）。同年，當時(shí)的美國污染控制協(xié)會(huì )AACC（American Association ofContamination Control，后并入IEST—Institute of Environmental Science and Technology），發(fā)表了“層流手術(shù)室的設計與建造”、“層流潔凈空氣在外科領(lǐng)域的應用”等指導性文件。

同年還在美國明尼蘇達大學(xué)建成了世界上第一個(gè)水平層流的無(wú)菌室。1967年在美國德州的M.D.安德遜病院建成了世界上最早的生物潔凈白血病室。

在英國，著(zhù)名的整形外科專(zhuān)家恰利（D.J.Charnley），也于1966年建起了稱(chēng)之為潔凈房（clean house）型式的生物潔凈手術(shù)室。1969年在奧地利的里茨建成了歐洲第一個(gè)層流病房，

隨后在瑞士、德國先后建成用于醫療的生物潔凈室。

在日本發(fā)展得更快，1965年日本國立公眾衛生院建成了采用高效過(guò)濾器的生物潔凈室（BCR）用于無(wú)菌動(dòng)物（SPF）的飼育室。1970年在愛(ài)知縣職工病院建成了裝配式垂直層流白血病房。

1972年建成了國立大阪醫院垂直層流流型無(wú)菌手術(shù)室。至1977年底，病院的生物潔凈室已達131個(gè)。

為確保藥品的安全性、有效性，1964年美國食品藥品管理局（FDA）開(kāi)始在美國實(shí)施“醫藥品的制造和質(zhì)量管理規范”，簡(jiǎn)稱(chēng)GMP（Good Manufacturing Practice）。1969年世界衛生組織（WH0）頒布了GMP，規定了為保證藥品無(wú)菌生產(chǎn)，對生產(chǎn)環(huán)境和用水質(zhì)量的要求。生物潔凈室技術(shù)在美、日、西歐等工業(yè)國家的制藥工業(yè)得到了廣泛應用。

美國FDA于1969年頒布了“食品制造標準”，即食品的GMP，要求在制造和包裝過(guò)程中嚴格控制微生物和溫濕度，以防止食品變質(zhì)。食品無(wú)菌裝罐的潔凈室，當時(shí)在歐美迅速得到推廣。

以美國為例，1971年無(wú)菌裝罐食品總量為25.4億噸，1980年增長(cháng)為132.7億噸，其中肉制品增長(cháng)幅度近19倍。在食品釀造、發(fā)酵工業(yè)對純種的培養、接種、擴種等工藝也都采用了潔凈室技術(shù)。

以占有七成左右潔凈室市場(chǎng)的電子與半導體工業(yè)而言，七十年代被稱(chēng)為大規模集成電路（LSI）時(shí)代，而八十年代則被稱(chēng)為超大規模集成電路（VLSI）時(shí)代。集成電路的集成度從1970年以來(lái)，差不多以每隔2~3年增長(cháng)4倍速率飛速發(fā)展。

七十年代末，64K位RAM作為進(jìn)入超大規模集成電路階段的標志性產(chǎn)品研制過(guò)程中，注意到其典型線(xiàn)寬為3μm，需控制的最小粒徑為0.3~0.8μm。也就是說(shuō)，以0.3μm效率為標準的HEPA過(guò)濾器不能適應電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。美國、日本相繼研制與制造了對0.1μm塵粒計數過(guò)濾效率達99.99~99.995%的超高效空氣過(guò)濾器——ULPA（Ultra low penetration air）過(guò)濾器（亦可譯為“極低穿透率空氣過(guò)濾器”）。

成熟與發(fā)展階段

七十年代末至八十年代末，這十年間，中國的潔凈技術(shù)經(jīng)歷了一段陽(yáng)光燦爛的發(fā)展階段。在中國潔凈技術(shù)發(fā)展歷程中，許多標志性的重要成果，幾乎都誕生在這個(gè)階段。

1、標準、規范制定與國際交往方面：

1979年1月出版了以建研院空調所為首的設計、研究和大專(zhuān)院校等單位對建成的工業(yè)潔凈室的測試和總結經(jīng)驗的基礎上編制的“空氣潔凈技術(shù)措施”，起到了規范與推動(dòng)當時(shí)中國潔凈室技術(shù)的重要作用，為日后國家標準的制定奠定了基礎。

1984年12月頒發(fā)了以電子部第十設計院會(huì )同有關(guān)單位共同編制的GBJ73-84國家標準“潔凈廠(chǎng)房設計規范”，其中，關(guān)于潔凈度分級標準等同采用了當時(shí)國際上大多數國家認同的美國聯(lián)邦標準209B，摒棄了此前在中國國內曾在不同范圍內使用過(guò)的多個(gè)借鑒國際標準而自定的潔凈室分級標準，為中國潔凈室技術(shù)與國際接軌向前邁進(jìn)了一步。

隨后，結合中國國情，參考國際標準先后制定了GB6166-85高效濾料性能實(shí)驗方法、穿透率和阻力，GB6167-85塵埃粒子計數器性能試驗方法，GB6168-85層流潔凈工作臺檢驗標準等多個(gè)標準，對統一與規范試驗、測定方法，增強科學(xué)性起了很大作用。

值得一提的是1988年11月定稿的國家標準GB12218-89“一般通風(fēng)用空氣過(guò)濾器性能試驗方法”中規定采用大氣塵的限徑計數效率法來(lái)測定粗、中、高中效空氣過(guò)濾器的效率，這是以天津大學(xué)為代表的國內各研究單位多年實(shí)踐的經(jīng)驗總結，在世界上率先采用此方法。1993年歐洲通風(fēng)協(xié)會(huì )（ASHRAE）先后放棄了原有的大氣塵比色效率法（NBS、AFI、ASHRAE）的計重效率法，同時(shí)頒布采用大氣塵或標準塵的計徑計數法。

特別是1982年6月成立了中國電子學(xué)會(huì )潔凈技術(shù)分會(huì )（對外的名稱(chēng)是“中國污染控制協(xié)會(huì )”CCCS—Chinese Contamination Control Society），并創(chuàng )辦了“潔凈技術(shù)”雜志（現名為“潔凈與空調技術(shù)”—Contamination Control & Air-conditioning Technology），于1983年正式發(fā)刊，在整合國內潔凈室技術(shù)的各方面力量，推動(dòng)潔凈室技術(shù)進(jìn)步以及在國際交流方面起了很大促進(jìn)作用。1986年中國潔凈技術(shù)學(xué)會(huì )成國國際污染控制學(xué)會(huì )聯(lián)盟ICCCS（International Confederation of Contamination Control Society）的成員。當時(shí)的成員國僅有美（IEST）、英（SEE）、法（ASPES）、德（DIN/VDI）、日（JACA）、意（ASCCA）、瑞士（SRRT）及北歐四國（R3-Nodic）等。（現增加至18個(gè)成員國，有澳—ACCS、俄—ASEMCO、比—BCW、韓—KACA、羅馬尼亞—RACC、巴西—SBCC、荷—VCCN、蘇格蘭—SZCZ）。

1998年第九屆ICCCS洛杉磯會(huì )議、1990年第十屆ICCCS蘇黎世會(huì )議，筆者代表中國應約出任了大會(huì )執行主席。

2、生物潔凈室技術(shù)方面：

生物潔凈室技術(shù)在中國的起步，較國外晚了十多年。七十年代末，一些制藥廠(chǎng)對原有空調系統進(jìn)行了改造，開(kāi)始采用高效空氣過(guò)濾器作為空調送風(fēng)系統的末端，以代替原有的過(guò)濾器或甘油紗布罩等。上海醫藥工業(yè)設計院、哈爾濱建工學(xué)院及有關(guān)制藥廠(chǎng)等單位在此時(shí)期先后在上海第四、第七制藥廠(chǎng)、鎮江制藥廠(chǎng)采用了生物潔凈室技術(shù)。

1982年中國制藥工業(yè)公司依據國情與國外經(jīng)驗制定了“藥品生產(chǎn)管理規范”（試行稿），其中空氣潔凈度級別參考美國聯(lián)邦標準209A，將生產(chǎn)環(huán)境分為大于100,000級及100,000級的控制區和10,000級及局部100級的潔凈區。至1985年底又匯編了“藥品生產(chǎn)管理規范實(shí)施指南”，連同經(jīng)過(guò)部分修改后的“規范”一并正式頒布，為推動(dòng)制藥工業(yè)的現代化奠定了基礎。1988年衛生部頒發(fā)了“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范”，其精神與前述規范一致，為在制藥行業(yè)推行GMP認證準備了條件。

在此階段生物潔凈室在醫療方面陸續得到推廣應用。1980年由哈爾濱建工學(xué)院與雞西無(wú)專(zhuān)共同研制的簡(jiǎn)易型水平層流空調凈化機組用于黑龍江醫院；由六機部九院與上海金山電子設備廠(chǎng)合作完成的裝配式無(wú)菌病室用于上海新華醫院細胞研究室、蘇州醫學(xué)院。

八十年代中，總后營(yíng)房部設計院、天津大學(xué)等設計建成了有各種氣流型式、相當于美國宇航局標準NASA-5340Ⅱ的百級至萬(wàn)級的十多間土建式無(wú)菌手術(shù)室的301醫院康復中心手術(shù)樓。天津大學(xué)、天津凈化設備廠(chǎng)設計建成了中國醫學(xué)科學(xué)研究院血研所多間百級組裝式無(wú)菌病室。

八十年代初、軍事醫學(xué)科學(xué)院、建研院空調所、蚌埠凈化設備廠(chǎng)等單位研制完成了Ⅱ-A級（相當于P3級）生物安全柜（Biohazard work station）的研制；哈爾濱建工學(xué)院等單位

完成了松江罐頭廠(chǎng)的甜炬乳、西紅柿醬和培根的無(wú)菌裝罐室，開(kāi)創(chuàng )了生物安全和食品加工生物技術(shù)在中國的應用。

在1985年前后，軍事醫學(xué)研究院研制的JWL針孔式浮游細菌采樣器和上海整新電子設備廠(chǎng)、同濟大學(xué)合作研制的SS縫隙式空氣浮游細菌采樣器通過(guò)鑒定，為生物潔凈室技術(shù)的某些

研究工作提供了手段。

3、基礎與技術(shù)研究方面：

在七十年代末至八十年代末這10年中，在潔凈室的基礎和技術(shù)研究方面也取得了眾多成績(jì)，如：

提出了中國大氣塵的統計規律、濕度對大氣塵濃度的作用、“W”型大氣塵濃度日分布模型，為確定室外設計濃度提供了依據；

提出了帶空氣幕層流罩的隔離效果、設計原理與計算方法；

提出了亂流潔凈室的均勻分布理論計算公式、經(jīng)驗計算公式，以及自?xún)魰r(shí)間、污染時(shí)間的計算式；

提出了單向流潔凈室下側回風(fēng)方式的最大室寬、計算模型以及下限風(fēng)速的概念及數據；

提出了高效空氣過(guò)濾器封導結合的雙環(huán)密封原理和方案，倒置式液槽密封方案；

進(jìn)行了人體發(fā)菌量的測試與分析；

建立了濾材、濾器的細菌過(guò)濾效率測試臺，得到了對大氣塵菌源的濾菌效率與計數、計重效率的相關(guān)關(guān)系。

中國建筑科學(xué)研究院、四機部十院、十一院等科研院所、設計院、天津大學(xué)、清華大學(xué)、同濟大學(xué)、哈爾濱建筑工程學(xué)院、河北工學(xué)院等院校對此做了較多的工作。

4、在產(chǎn)品研制與開(kāi)發(fā)方面：

1979年至1981年，天津大學(xué)、天津美綸纖維廠(chǎng)等單位通過(guò)對多種材質(zhì)（滌綸、丙綸、維綸、棉、毛、超細玻纖……）、多種工藝針刺、噴膠、熱熔、熔噴、熱壓、羅拉）的幾百個(gè)品種、規格濾料系列研究，篩選并設計定型了TL—Z、TL—C系列具有線(xiàn)徑梯度、密度梯度和材質(zhì)、工藝復合型的無(wú)織布濾材，部分替代了當時(shí)美、法、日等國引進(jìn)的從粗效至亞高效過(guò)濾材料，為國家節約了大批外匯。

1981年，由四機部十一院、河北工學(xué)院、天津第二無(wú)線(xiàn)電專(zhuān)用設備廠(chǎng)研制成功WGP—01型無(wú)隔板高效空氣過(guò)濾器（mini pleat HEPA filter),填補了國內產(chǎn)品空白。

1985年，四機部十一院、四川造紙工業(yè)研究所、重慶無(wú)線(xiàn)電專(zhuān)用設備廠(chǎng)共同完成了CGB型高效空氣過(guò)濾器的研制，該過(guò)濾器對0.1μm塵粒的計數效率為99.99~99.995%，阻力為245~270Pa，經(jīng)鑒定認為其主要技術(shù)指標達到當時(shí)日本生產(chǎn)的ULPA高效空氣過(guò)濾器同類(lèi)產(chǎn)品的技術(shù)水平。1987年1月，天津醫藥凈化設備廠(chǎng)和建研院空調所研制的、采用國外ULPA過(guò)濾器（日本忍足株式會(huì )社產(chǎn)品）的0.1μm10級潔凈室通過(guò)鑒定。1988年5月機電部第十一設計院和重慶無(wú)線(xiàn)電專(zhuān)用設備廠(chǎng)采用國產(chǎn)0.1μm高效空氣過(guò)濾器的0.1μm10級潔凈室通過(guò)鑒定，其主要

指標達到八十年代國外的技術(shù)水平。

同期，國外潔凈室技術(shù)持續、穩定發(fā)展與進(jìn)步。

1982年每芯片上約有5~6萬(wàn)個(gè)器件的16K位隨機存儲器（RAM）已成暢銷(xiāo)品。1984年256K位RAM已進(jìn)入實(shí)用階段。同年初日本宣布每芯片設置有約200萬(wàn)個(gè)器件的一兆位DRAM（Dynamic Random Access Memory—動(dòng)態(tài)隨機存取存儲器）試制成功。1985年美國研制完成4兆位的集成電路。至八十年代末4M位的DRAM已商品化。

各種降低能耗，配合工藝過(guò)程自動(dòng)化與高潔凈度要求的潔凈室氣流組織方案及技術(shù)在此階段也陸續誕生，如隧道式潔凈室（tunnel type cleanroom）、潔凈管道（duct type cleanroom）以及SMIF（standard mechanical interface—標準機械接口）技術(shù)等。

從八十年代中期以來(lái)，以于微電子行業(yè)來(lái)說(shuō)，1976年4月24日所頒發(fā)的美國聯(lián)邦標準209B所規定的最高潔凈級別—100級（≥0.5μm，≯100pc./cu.ft）已不能滿(mǎn)足需要，1M位的DRAM的線(xiàn)寬僅為1μm，要求環(huán)境級別為10級（0.5μm）。事實(shí)上，從七十年代末，配合微電子技術(shù)的發(fā)展，更高級別的潔凈室. 已在美、日陸續建成，相應的檢測儀器—激光粒子計數器、凝聚核粒子計數器（CNC）—也應運而生?？偨Y這個(gè)時(shí)期的經(jīng)驗和適應技術(shù)進(jìn)步的需要，于是1987年10月27日頒發(fā)美國聯(lián)邦標準209C，將潔凈等級從原有的100至100,000四個(gè)等級擴展為1至100,000六個(gè)級別，并將鑒別級別界限的粒徑從0.5μm~5μm擴展至0.1μm~5μm.

與國際接軌走向規范化

九十年代初至今，在電子技術(shù)持續飛速發(fā)展的推動(dòng)下，潔凈技術(shù)不斷前進(jìn)，下表給出了國際上大規模集成電路的工藝及國內的代表產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程。

1992年9月11日頒布的美國聯(lián)邦標準FED—STD—209E更進(jìn)一步取代1988年6月15日頒布的FED—STD—209D，將潔凈等級從英制改為米制，潔凈度等級分為M1至M7七個(gè)級別。與209D相比，最高級別又向上延伸了半個(gè)級別（209D的1級空氣中≥0.5μm塵?！?5.3pc./m3，而209E的M1級≥0.5μm塵?！?0pc./m3）。

三十多年來(lái)，美國聯(lián)邦標準209，一直是世界各國潔凈技術(shù)行業(yè)公認的標準。美國總服務(wù)局（GSA—U.S.General Services Administration），也就是批準美國聯(lián)邦標準供聯(lián)邦政府各機構使用的權威單位，于2001年11月29日發(fā)布公告，廢止FED—STD—209E，等同采用ISO—14644相關(guān)標準。這個(gè)決定標志著(zhù)潔凈技術(shù)

隨同世界經(jīng)濟一體化進(jìn)一步走向國際大同。

九十年代初至今，中國經(jīng)濟始終保持穩定的高速增長(cháng)，國際投資持續注入，一批跨國集團在中國陸續興建了眾多的微電子工廠(chǎng)。因此國內技術(shù)與研究人員有更多機會(huì )直接接觸國外高級別潔凈室的設計理今，了解世界的先進(jìn)設備和裝置、管理與維護等等。從這方面來(lái)看，的確從各個(gè)角度與國際日益接軌。

中國也投入了大批財力發(fā)展微電子技術(shù)。在這階段中先后建成了首鋼日電公司、華晶電子集團公司、上海華虹NEC電子公司、紹興華越微電子公司、以及天津MOTOROLA公司、上海貝嶺微電子公司等，但總起來(lái)說(shuō)微電子技術(shù)與世界先進(jìn)生產(chǎn)水平特別是研發(fā)水平上仍有相當大的差距。

九十年代初以來(lái)，潔凈技術(shù)在制藥工廠(chǎng)貫徹實(shí)施GMP法過(guò)程中得到了普及，全國幾千家制藥廠(chǎng)以及生產(chǎn)藥用原材料、包裝材料等非藥企業(yè)，陸續進(jìn)行了技術(shù)改造。其規模之大、范圍之寬都是空前的。1992年中國制藥工業(yè)公司、中國化學(xué)制藥工業(yè)協(xié)會(huì )對1985年頒發(fā)的“藥品生產(chǎn)管理規范（GMP）實(shí)施指南”進(jìn)行了修訂，頒發(fā)了新的實(shí)施指南。隨后在1998年頒發(fā)了理一步與國際接軌的、由國家藥品監督局組織修訂的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范”，即中國1998GMP（1999年8月1日起實(shí)施），為加大GMP的推行力度、在制藥全行業(yè)實(shí)施認證體制進(jìn)一步奠定了基礎。九十年代初以來(lái)，醫院無(wú)菌手術(shù)室的建設受到各方面的關(guān)注，陸續在各大城市建起了上千間十萬(wàn)級至百級不同級別的生物潔凈手術(shù)室、生物潔凈病室及實(shí)驗動(dòng)物房。

概括這十年來(lái)國內潔凈技術(shù)行業(yè)的歷程，依筆者個(gè)人的看法是喜憂(yōu)參半。值得欣慰的是，潔凈室技術(shù)行業(yè)在許多方面日益與國際接軌，反映在相關(guān)規范的內容、潔凈室設計思路與方案、施工技術(shù)與管理、檢測手段與技術(shù)等等方面。如反映在中國的國家標準修定中，2001年11月13日發(fā)布的GB50073-2001國家標準“潔凈廠(chǎng)房設計規范”（Code for Design of Clean Room），在空氣潔凈度等級劃分上，明確等效采用國際標準ISO14611-1，就是一個(gè)很好的例證。依靠制藥工業(yè)與普通電子裝配業(yè)，以及醫療衛生、食品、化妝品業(yè)的帶動(dòng)，潔凈室技術(shù)得到極大的普及。但這些行業(yè)基本上都是ISO5或中國標準N5（相當于原聯(lián)邦標準FED—STD—209E的100級）及以下級別的潔凈室，所采用的主要設備器材如高效及各級過(guò)濾器、吹淋室、凈化工作臺，空調制冷機組以及金屬壁板、地面復合材料等，基本上都是國內生產(chǎn)制造的。因此從七十年代屈指可數的、主要集中在京津地區、上海地區的十幾家；八十年代末的百余家潔凈室設備生產(chǎn)廠(chǎng)、施工安裝單位，發(fā)展到現在幾乎遍布全國各省市的上千家潔凈室相關(guān)設備、器材生產(chǎn)制造廠(chǎng)、施工安裝單位，和一批積累了相當豐富經(jīng)驗的設計單位、調試檢測單位。

全國處于運行狀態(tài)的各種級別的潔凈室面積，據不完全統計和測算，從八十年代初10多萬(wàn)平方米猛增到200多萬(wàn)平方米。某些微電子廠(chǎng)生產(chǎn)車(chē)間的潔凈級別達到了0.1微米1級的高水平。在潔凈空氣流流型理論計算與試驗研究方面，哈爾濱建工學(xué)院、天津大學(xué)、建研院空調所等單位，采用數值仿真方法，利用CFD（computational fluid dynamics）與試驗驗證相結合的方法，開(kāi)展了矢流流型、普通潔凈室高效過(guò)濾器風(fēng)口布置方案與潔凈效果等方面的研究，并參加了歷屆ICCCS國際學(xué)術(shù)交流會(huì )，在國際上發(fā)表了一批研究論文。

天津大學(xué)等單位參加了MOTOROLA、SAE、KODA、CTS不同潔凈級別的、由國外設計、采用國外設備器材、施工管理技術(shù)建造的潔凈室的系統調試與檢測、驗收。較深入地理解、掌握了國外微電子高級別潔凈室、制藥工業(yè)潔凈室的設計要點(diǎn)、技術(shù)關(guān)鍵，以及調試驗收技術(shù)及相應規范，與美國FDA、NEBB、IEST，日本的JACA等建立了廣泛的聯(lián)系。

特別值得提出的是，在新一屆中國電子學(xué)會(huì )潔凈技術(shù)分會(huì )領(lǐng)導的積極努力下，中國申辦第18屆國際污染控制學(xué)術(shù)會(huì )議（2006年）獲得成功，這是自1972年ICCCS創(chuàng )建以來(lái)首次在華舉辦這樣的盛會(huì )，將對中國的潔凈技術(shù)進(jìn)步起到重要推動(dòng)作用。

20世紀90年代的~

1)口、衛與社保障政府堅持計劃育基本策口自增率由199211.60‰降20006.95‰城鄉居民收入持續增居民受教育程度健康水平顯著(zhù)提高醫療衛服務(wù)體系斷健全婦與童事業(yè)取明顯進(jìn)步養保險與醫療保障制度逐步完善

(2)城鎮化與居環(huán)境19922000城鎮化水平由27.6%提高36.1%通加快城市基礎設施建設展城市環(huán)境綜合整治提高城鄉居民居住質(zhì)量

(3)區域發(fā)展與消除貧困家實(shí)施八七扶貧攻堅計劃貧困口19928000萬(wàn)減少20003000萬(wàn)世紀90代政府實(shí)施區域經(jīng)濟協(xié)調發(fā)展政策西部發(fā)戰略使區差異擴趨勢所緩解區產(chǎn)業(yè)結構調整

(4)農業(yè)與農村發(fā)展經(jīng)努力糧食其農產(chǎn)品幅度增由期短缺總量體平衡、豐余解決民吃飯問(wèn)題政府力提倡發(fā)展態(tài)農業(yè)節水農業(yè)探索適合農村經(jīng)濟農業(yè)態(tài)環(huán)境協(xié)調發(fā)展模式

(5)工業(yè)持續發(fā)展積極轉變工業(yè)污染防治戰略力推行清潔產(chǎn)提高資源利用效率減輕環(huán)境壓力加強工業(yè)環(huán)境保護執力度實(shí)行限期達標排放措施強制淘汰技術(shù)落污染嚴重產(chǎn)裝置2000底污染工業(yè)企業(yè)90%實(shí)現達標排放工業(yè)廢水排放量比1995減少1/3積極利用高新技術(shù)提升傳統產(chǎn)業(yè)調整優(yōu)化工業(yè)結構產(chǎn)品結構發(fā)展高新技術(shù)新興產(chǎn)業(yè)1995-2000環(huán)保產(chǎn)業(yè)均增率達15%

(6)態(tài)環(huán)境建設與保護制定全態(tài)環(huán)境建設規劃全態(tài)環(huán)境保護綱要并逐步納入民經(jīng)濟社發(fā)展計劃予實(shí)施全已建20家級園林城市、102態(tài)農業(yè)示范縣2000態(tài)農業(yè)示范點(diǎn)規模展防治沙漠化工作確定20重點(diǎn)縣、建立9試驗區22試驗示范基加快重點(diǎn)區域水土流失治理積極推廣流域綜合治理經(jīng)驗水土流失治理取顯著(zhù)進(jìn)展全累計新增治理水土流失面積81萬(wàn)平公自保護區建設規模與管理質(zhì)量顯著(zhù)提高部具典型性態(tài)系統與珍稀瀕危物種效保護制定實(shí)施物性行計劃與濕保護行計劃實(shí)施野植物保護、自保護區建設工程瀕危物種拯救工程使些瀕危物種工或自繁育建立農作物品種資源保存庫加快建立遺傳資源庫

(7)能源發(fā)與利用重視節約能源制定實(shí)施系列節約能源規技術(shù)經(jīng)濟政策萬(wàn)元內產(chǎn)總值能耗由19905.32噸標準煤降20002.77噸標準煤(1990價(jià)格水平)積極調整能源結構煤炭消費量能源消費總量所占比重由199076.2%降200068%推廣潔凈煤、煤炭清潔利用綜合利用技術(shù)實(shí)施清潔能源清潔汽車(chē)行計劃積極發(fā)利用再能源新能源

(8)水資源保護與發(fā)利用積極合理發(fā)水資源河流實(shí)行統管理調度建立健全水資源持續利用與水污染控制綜合管理體制全面推行節水灌溉發(fā)展節水型產(chǎn)業(yè)緩解水資源短缺矛盾展淮河、海河、遼河、太湖、滇池、巢湖等重點(diǎn)流域水污染防治加快建設城市污水處理廠(chǎng)使水環(huán)境惡化趨勢基本控制家扶持貧困區加強水電農村型、微型水利工程建設

(9)土資源管理與保護通劃定基本農田保護區使全83%左右耕效保護建立耕占用補償制度19972000全通發(fā)、整理復墾增加耕164萬(wàn)公頃高于同期建設占用耕數量實(shí)現占補平衡推行荒山、荒使用權制度改革確立完善土管理社監督機制實(shí)施基本農田環(huán)境質(zhì)量監測力推進(jìn)農業(yè)化物質(zhì)污染防治技術(shù)保護改善農田環(huán)境質(zhì)量

(10)森林資源管理與保護制定森林資源保護規林業(yè)持續發(fā)展行計劃加強森林資源培育實(shí)現森林面積蓄積量雙增實(shí)施林資源保護、退耕林、京津風(fēng)沙源治理、三北江流域防護林體系、重點(diǎn)區速豐產(chǎn)林建設等林業(yè)重點(diǎn)態(tài)體系建設工程實(shí)施山區林業(yè)綜合發(fā)與消除貧困行促進(jìn)貧困山區社經(jīng)濟持續發(fā)展

(11)草原資源管理與保護制定草原等規加強草原資源保護與管理編制全草原態(tài)保護建設規劃全草原圍欄面積達1500萬(wàn)公頃每新增約200萬(wàn)公頃

(12)海洋資源管理與保護制定完善海洋污染控制、態(tài)保護、資源管理規體系2000底已建立海洋自保護區69總面積13.1萬(wàn)平公進(jìn)行近岸海域環(huán)境功能區劃及近海陸架資源環(huán)境調查海洋環(huán)境監測網(wǎng)絡(luò )與海洋環(huán)境信息、預報服務(wù)系統加強 

(13)固體廢物管理1991至2000工業(yè)固體廢物排放量降69.2%綜合利用率提高15.1%加快城市垃圾收集處理設施建設加強危險廢物管理認真履行《巴塞爾公約》嚴格控制危險廢物越境轉移

(14)化品害環(huán)境管理通加化工行業(yè)產(chǎn)業(yè)結構產(chǎn)品結構調整力度減少化物質(zhì)環(huán)境污染加強汞、砷鉻鹽等化品害環(huán)境管理采取效安全防范措施清除毒化品產(chǎn)儲運隱患認真履行積極參與化品際公約

(15)氣保護劃定二氧化硫酸雨控制區區域內實(shí)行二氧化硫總量控制制度通推廣潔凈煤清潔燃燒、煙氣脫硫、除塵技術(shù)及力發(fā)展城市燃氣集供熱使酸雨二氧化硫污染控制優(yōu)先發(fā)展公共交通減少控制機車(chē)污染物排放改善城市空氣質(zhì)量認真履行《關(guān)于消耗臭氧層物質(zhì)蒙特利爾議定書(shū)》控制淘汰消耗臭氧層物質(zhì)

(16)防災減災展防洪抗旱、防震減災、質(zhì)災害物災害防治等綜合減災工程建設建立完善全災害監測預警系統提高災害監測預報水平展災害保險調社力量展減災援救災害損失明顯減少

(17)發(fā)展科技術(shù)教育政府幅度增加科技教育投入圍繞持續發(fā)展重問(wèn)題實(shí)施批重科研項目持續發(fā)展提供技術(shù)支撐基本普及九義務(wù)教育基本掃除青壯文盲全面推進(jìn)教育改革教育質(zhì)量逐步提高

(18)信息化建設已建覆蓋全公用電信網(wǎng)通實(shí)施政府網(wǎng)工程促進(jìn)政府工作效率決策水平全面提高加快持續發(fā)展信息共享進(jìn)程促進(jìn)持續發(fā)展能力提高

(19)21世紀議程實(shí)施全25省(區、市)立21世紀議程領(lǐng)導組并設立辦事機構半數省(區、市)制定21世紀議程行計劃16省市展實(shí)施《2l世紀議程》試點(diǎn)建立100持續發(fā)展實(shí)驗區各制宜積極探索持續發(fā)展模式

(20)公眾參與持續發(fā)展各級政府通廣播、電視、報紙、刊物等媒體全面宣傳持續發(fā)展思想提高公眾持續發(fā)展意識270所高等院校新設置環(huán)境保護院、系、科全許展環(huán)境教育創(chuàng )建綠色校廣農村組織實(shí)施跨世紀青農民培訓工程綠色證書(shū)工程各類(lèi)社團體持續發(fā)展戰略持積極擁護態(tài)度婦、科技界、少數民族、青少、農民、工非政府組織積極參與持續發(fā)展據完全統計全式注冊環(huán)保非政府組織已超2000